超纯水为将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm极限值（25℃）。含盐量在0.3mg/L以下，电导率小于0. 2μs/cm。
超纯水是科技界为了研制超纯材料（半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等）应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，这种水中除了水分子（H20）外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，一般不可直接饮用，饮用后会析出人体相关离子从而对人体造成伤害。
超纯水处理一般工艺很难达到，其采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤，多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法，电阻率方可达18.25MΩ*cm（25℃）。
分析实验室用水共分为三个级别：一级水、二级水和三级水。
1.一级水： 一级水用于有严格要求的分析试验，包括对颗粒有要求的试验。如液相色谱分析用水。
一级水可用二级水经过石英设备蒸馏或交换混床处理后，再经0.2μm微孔滤膜过滤来制取。
2.二级水： 二级水用于无机衡量分析等试验，如原子吸收光谱分析用水。
二级水可用多次蒸馏或离子交换等方法制取。
3.三级水： 三级水用于一般化学分析试验。
三级水可用蒸馏或离子交换等方法制取。
分析实验室用水的水质规格：
一级：电导率、吸光度、可溶性硅。
二级：电导率、可氧化物质含量、吸光度、蒸发残渣、可溶性硅。
三级：PH值范围、电导率、可氧化物质含量、蒸发残渣。
注射用水是配制注射剂、眼用制剂的重要溶剂，也是无菌原料药精制、无菌药品配制、直接接触药品包装材料和器具等Zui终清洗、A/B级洁净区消毒剂和清洁剂配制的用水，其质量直接关系到所配药品的质量。如果注射用水质量差，会导致清洗灌封设备、清洗灌封容器、工具、内包材料质量低，引入异物降低输液产品的可见异物合格率；即使过滤过程后，也会导致准备好的液体可见异物。
从可见异物的种类也可以对其来源或成因进行基本推断。随着仪器日新月异的发展可以将先进仪器运用到可见异物的定性与成因分析之中。微源检测利用红外光谱、核磁共振、GC-MS、ICP、IC、HPLC、XRF、GPC、SEM、D-SIMS等仪器，根据检测物质和元素要求精度结合检测特性，多方面验证分析结果，可以对可见异物可进行相关检测分析。